【摘 要】
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为了制备耐高温吸波材料,用激光诱导气相反应法,以六甲基二硅胺烷[（Me3Si）2NH]（Me：CH3）、乙炔、硅烷和氨气为原料,用双反应室激光气相合成纳米粉体装置分别制备了纳米SiC,Si3N4和S
【机 构】
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北京化工大学化工资源有效利用国家重点实验室,西北工业大学凝固技术国家重点实验室
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为了制备耐高温吸波材料,用激光诱导气相反应法,以六甲基二硅胺烷[（Me3Si）2NH]（Me：CH3）、乙炔、硅烷和氨气为原料,用双反应室激光气相合成纳米粉体装置分别制备了纳米SiC,Si3N4和SiC（N）粉体,纳米粉体的粒径为20～30nm。研究了纳米SiC,Si3N4和SiC（N）粉体在8.2～12.4GHz的微波介电特性,纳米SiC（N）粉体介电常数的实部（ε′）和虚部（ε″）在8.2～12.4GHz随频率增大而减小,介电损耗（tgδ=ε″/ε′）较高,是较为理想的微波吸收材料,而纳米SiC和Si
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