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微位移技术是扫描探针显微镜的核心技术之一，直接影响着ＳＰＭ的测量精度，因此设计出高精度的多自由度微位移机构具有重大的意义。本文设计了一种适用于ＳＰＭ的五自由度的微位移工作台，它从结构上解决了交叉误差，同时又兼顾低速和高速扫描的需要。此定位系统在１０μｍ运动范围内定位精度为１０ｕｍ，定位分辨力高于１ｎｍ。在１μｍ运动范围内定位系统最小位移分辨力高达０．５ｎｍ。