【摘 要】
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介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪，测量光栅盘的扩展不确定度为0．08″。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术，减小了参考盘刻划误差的影
【机 构】
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介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪，测量光栅盘的扩展不确定度为0．08″。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术，减小了参考盘刻划误差的影响，同时，采用了计算机系统控制测量过程，进行数据处理，实现了自动化测量，检测结果和误差曲线由打印机打印输出。
A high accuracy, precision, automatic and dynamic measurement grating detector is introduced to measure the extended uncertainty of the grating disk is 0.08 ".The instrument uses high precision hydrostatic bearings and multi-head homogenization technology, At the same time, the computer system is used to control the measurement process, data processing is carried out, automatic measurement is realized, the test results and error curve are printed out by the printer.
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