【摘 要】
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本文阐述真空传递冷压铟封工艺的特点,以及为研究此项工艺所使用的真空系统。接着给出了影响真空传递冷压钢封工艺质量的主要工艺参数。最后介绍了采用镀铟工艺的真空传递冷
【机 构】
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中国科院电子学研究所,中国科院电子学研究所
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本文阐述真空传递冷压铟封工艺的特点,以及为研究此项工艺所使用的真空系统。接着给出了影响真空传递冷压钢封工艺质量的主要工艺参数。最后介绍了采用镀铟工艺的真空传递冷压铟封试验,试验证明,在柯伐或无氧铜基底上镀铟,可以把柯伐和柯伐(或无氧铜)成功的焊在一起,并得到有一定寿命的气密性器件。
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