【摘 要】
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低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。
Low-pressure gas-phase
【机 构】
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机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所,机械电子工业部第48研究所
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低压气相合成金刚石薄膜是目前的热门课题。本文介绍用于金刚石薄膜生长而开发的ECR—PECVD装置的工作原理、基本构成、结构特点及其主要技术指标。
Low-pressure gas-phase synthesis of diamond film is currently a hot topic. This article describes the working principle, basic structure, structural features and main technical specifications of the ECR-PECVD device for the diamond film growth.
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