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(Pb1-xSrx)TiO3系薄膜铁电性能的工艺因素研究
(Pb1-xSrx)TiO3系薄膜铁电性能的工艺因素研究
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxuan415315
【摘 要】
:
钛酸锶铅((Pb1-xSrx)TiO3)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用潜力很大,是高新技术研究的前沿和热点之一。通过磁控溅射的方法制备了PST薄膜,详细研究了不同工艺因素对PST薄膜铁电性
【作 者】
:
赵毅红
陈荣发
王茂祥
【机 构】
:
扬州大学机械工程学院,江苏移动
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2004年4期
【关键词】
:
工艺因素
铁电薄膜
制备
钙钛矿相
铁电性能
工艺条件
研究
前沿
磁控溅射
钛酸锶
(Pb_(1-x)Sr_(x))TiO_(3) magnetron spu
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钛酸锶铅((Pb1-xSrx)TiO3)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用潜力很大,是高新技术研究的前沿和热点之一。通过磁控溅射的方法制备了PST薄膜,详细研究了不同工艺因素对PST薄膜铁电性能的影响。结果表明,选择合适的工艺条件可以制备铁电性能优良的钙钛矿相PST薄膜。
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