(Pb1-xSrx)TiO3系薄膜铁电性能的工艺因素研究

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钛酸锶铅((Pb1-xSrx)TiO3)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用潜力很大,是高新技术研究的前沿和热点之一。通过磁控溅射的方法制备了PST薄膜,详细研究了不同工艺因素对PST薄膜铁电性能的影响。结果表明,选择合适的工艺条件可以制备铁电性能优良的钙钛矿相PST薄膜。
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