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镜片是光刻机核心元件,也是典型的柔顺定位机构.为了能准确的分析镜片动力学响应,需要建立准确的镜片柔顺定位机构的动力学模型.本文对镜片柔顺定位机构的自由模态进行仿真和实验,验证镜片柔顺定位机构的有限元模型的正确性,为后续的动力学分析和控制打下基础.
镜片柔顺定位机构的模态仿真与实验
【摘 要】
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镜片是光刻机核心元件,也是典型的柔顺定位机构.为了能准确的分析镜片动力学响应,需要建立准确的镜片柔顺定位机构的动力学模型.本文对镜片柔顺定位机构的自由模态进行仿真和
【机 构】
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中国人民解放军军事经济学院 湖北 武汉 430035
【出 处】
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科技经济导刊
【发表日期】
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2016年10期
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