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【摘 要】
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实验分析了离子束加工去除函数的工艺可控性问题并进行了初步修形实验。从工艺实现的角度分析光学镜面离子束加工技术对去除函数的要求,以去除函数环半峰全宽、体积去除率和
【机 构】
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国防科技大学机电工程与自动化学院,
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2008年05期
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