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来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
溅射镀膜过程中基体偏压对涂层的组织、结构和性能都有很重要的影响.本文采用脉冲磁控溅射技术在硬质合金基体上制备了TiB2涂层,研究了不同衬底偏压(-50~-300 V)对涂层生长特
【作 者】
:
高翔
代伟
费加喜
刘景茂
王启民
【机 构】
:
广东工业大学机电工程学院 广州 510006
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2017年10期
【关键词】
:
TiB2
涂层
磁控溅射
偏压
机械性能
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