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给出一种以激光外差干涉仪为基准,用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统. 与传统检测方法相比,具有精度高、自动化程度高、速度快和测量结果直观清晰等优点. 该系统现已用于大批量生产的光栅尺检测.
全自动光栅尺激光外差动态检测系统
【摘 要】
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给出一种以激光外差干涉仪为基准,用计算机实现自动控制、数据采集、动态检测、误差分析和列表输出等多项功能的光栅尺高精度自动检测系统. 与传统检测方法相比,具有精度高、
【机 构】
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深圳大学工程技术学院,深圳,518060
【出 处】
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深圳大学学报（理工版）
【发表日期】
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2000年1期
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