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针对半导体制造业的行业特点,在.Net环境下,设计了高效、敏捷的半导体MES（制造执行系统）,MES能够将实际生产过程与数据信息化结合起来,实时监控和管理生产现场。通过对C/S结构模式、Web Service分布式技术、事件服务以及ADO.NET数据库访问技术等关键技术的研究,建立了执行系统的体系结构。根据半导体的生产特点,最后介绍了半导体MES应用中的主要功能模块。