【摘 要】
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利用CO_2激光引发在NH_3/Si_3H_4体系中化学合成超细、高纯Si_3N_4粉末。实验研究了反应参数和反应条件,在较好的实验条件下制备出近似球形、粒径约20mm、纯度98％的无定形Si_3
【机 构】
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浙江大学光仪系,浙江大学光仪系,浙江大学光仪系,浙江大学光仪系
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利用CO_2激光引发在NH_3/Si_3H_4体系中化学合成超细、高纯Si_3N_4粉末。实验研究了反应参数和反应条件,在较好的实验条件下制备出近似球形、粒径约20mm、纯度98％的无定形Si_3N_4粉末。
The chemical synthesis of ultrafine and high purity Si_3N_4 powder in NH_3 / Si_3H_4 system was initiated by CO_2 laser. The reaction parameters and reaction conditions were studied experimentally, and the amorphous Si 3 N 4 powders with approximate spherical shape, particle size of about 20 mm and purity of 98% were prepared under the better experimental conditions.
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