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在热丝CVD装置中,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料,在YG6上制备了含硼金刚石薄膜.研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响.结果表明,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表面晶形,细化晶粒.有利于薄膜附着力的提高;而过高的硼含量恶化金刚石薄膜质量,降低薄膜附着力.
硼浓度对沉积在刀具上的金刚石膜表面的影响
【摘 要】
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在热丝CVD装置中,以氢气、丙酮、硼酸三甲脂为原料,在YG6上制备了含硼金刚石薄膜.研究丙酮中硼含量对薄膜表面晶形及晶粒度的影响.结果表明,薄膜中渗入适量的硼不改变薄膜表
【机 构】
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武汉化工学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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武汉化工学院学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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湖北省科技攻关项目
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