无亲水天然氧化物的硅片直接粘合

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【摘要】

：

无亲水天然氧化物的硅片直接粘合＝ＳｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｄｉｒｅｃｔｂｏｎｄｉｎｇＷｉｔｈｏｕｔｈｙｄｒｏｐｈｉｌｉｃｎａｔｉｖｅｏｘｉｄｅｓ［刊，英］／Ｈｉｍｉ．Ｈ．…ＪｐｎＪＡｐｅｌ．－１９９４．３３（１Ａ）．－６～１０用两个表面无亲水自然氧化层... Direct Bonding of Wafers without Hydrophilic Natural Oxides = Silicon Wafer Direct Bond Worth

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

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1994年06期

【关键词】

：

亲水氧化层扩展电阻透射电子显微镜粘接强度粘接界面去离子水

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