【摘 要】
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与体硅材料和器件比较，SOI具有许多独特的优越性，例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩锁效应等，因而被称为二十一世纪的微电子技术而引起人们越来越多的关注．SOI技术正走向商业
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室!上海,200050,中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室!上海,200050
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与体硅材料和器件比较，SOI具有许多独特的优越性，例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩锁效应等，因而被称为二十一世纪的微电子技术而引起人们越来越多的关注．SOI技术正走向商业应用阶段，特别是应用于高性能、低功耗CMOS电路，抗辐照器件和高温电子器件等。本文综述了SOI材料和器件的最新进展．
Compared with bulk silicon materials and devices, SOI has many unique advantages, such as high switching speed, high density, anti-radiation, no latch-up effect, which is called the twenty-first century microelectronics technology and cause people to More attention. SOI technology is moving toward commercial applications, especially in high-performance, low-power CMOS circuits, anti-radiation devices and high-temperature electronic devices. This article reviews the latest advances in SOI materials and devices.
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