论文部分内容阅读
由稳态 时粒子数和电 流连续性方程 及带 电粒 子的 能量 平衡 方程， 建立 了α型 平板 Ｒ Ｆ 放电等离子体的 理论模型，并用数 值方法 求得 射频 放电 等离 子体 中粒子 数密 度、电场、功率 密 度、激 发效率的空间分 布，解释了 Ｒ Ｆ 放电的 辉纹结构，分析了 放电参数对放 电特性的影响
Based on the steady state particle number, the current continuity equation and the energy balance equation of the charged particles, a theoretical model of the plasma of the R type discharge plasma plate was established. The numerical calculation of the particle number density, the electric field and the power of the RF discharge plasma Density, excitation efficiency of the spatial distribution, explained R F discharge of the striation structure, analysis of the discharge parameters of the discharge characteristics of