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期刊论文
工序能力分析中的Pearson分布拟合
工序能力分析中的Pearson分布拟合
来源 :电子质量 | 被引量 : 0次 | 上传用户:henrychan168
【摘 要】
:
为满足现代微电路生产工艺线工艺水平评价需要,在对三类典型皮尔逊分布的中心矩与原点矩进行分析研究的基础上,推导了针对该分布的拟合表达式,得到了相应分布类型的参数,并给出分
【作 者】
:
张宝军
王少熙
贾新章
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
【出 处】
:
电子质量
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
皮尔逊分布
拟合
中心矩
原点矩
工序能力
Pearson distribution
Fitness
Central moments
Origin moment
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为满足现代微电路生产工艺线工艺水平评价需要,在对三类典型皮尔逊分布的中心矩与原点矩进行分析研究的基础上,推导了针对该分布的拟合表达式,得到了相应分布类型的参数,并给出分布拟合算法。并且对实际微电路工艺的应用结果表明,拟合结果令人满意。
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