【摘 要】
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在半导体晶圆制造过程中,驻留时间延迟过长对晶圆质量具有消极影响.本文研究单臂组合设备稳态调度中如何合理地分配机械手等待时间,抵消驻留时间延迟的问题.首先,采用Petri网
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51665018);福建省电机控制与系统优化调度工程技术研究中心开放课题(FERC006)资助
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在半导体晶圆制造过程中,驻留时间延迟过长对晶圆质量具有消极影响.本文研究单臂组合设备稳态调度中如何合理地分配机械手等待时间,抵消驻留时间延迟的问题.首先,采用Petri网模型描述晶圆制造过程,分析了单臂组合设备稳态调度的时间特性,获得了稳态下工序驻留时间延迟计算表达式.其次,通过解构机械手等待时间对驻留时间延迟的影响机理,提出了一种机械手等待时间分配优先级规则.进一步,将虚拟瓶颈工序用于辅助分配机械手等待时间,结合优先级规则,提出了一种单臂组合设备稳态调度启发式算法.最后,通过例子验证了算法的可行性与有效
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