【摘 要】
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本文研究了重掺锑硅单晶管道的性质和克服管道问题的方法。改用[100]晶向,可靠地消除了管道。制管试验表明,[100]晶向单晶可部分地取代[111]晶向单晶。调凹界面,则可在不改变
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本文研究了重掺锑硅单晶管道的性质和克服管道问题的方法。改用[100]晶向,可靠地消除了管道。制管试验表明,[100]晶向单晶可部分地取代[111]晶向单晶。调凹界面,则可在不改变晶向的条件下,克服管道问题。
This paper studies the properties of heavily doped antimony-silicon single-crystal pipelines and the ways to overcome the pipeline problems. Switch to [100] crystal orientation, reliably eliminating the pipe. Tube tests show that the [100] orientation to a single crystal can partially replace the [111] orientation towards a single crystal. Adjust the concave interface, you can not change the crystal orientation conditions, to overcome the pipeline problems.
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