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采用磁控溅射法在载玻片上制备出Al^3＋掺杂型ZnO透明导电薄膜．对不同厚度薄膜的光电性能进行了研究．结果表明，所制备的薄膜随着厚度的增加，透过率略有下降；ZnO薄膜在可见光区的吸光度很小，对可见光几乎不吸收．
氧化锌透明导电膜的光电性能研究
【摘 要】
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采用磁控溅射法在载玻片上制备出Al^3＋掺杂型ZnO透明导电薄膜．对不同厚度薄膜的光电性能进行了研究．结果表明，所制备的薄膜随着厚度的增加，透过率略有下降；ZnO薄膜在可见光区的吸光
【机 构】
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鲁东大学物理与电子工程学院
【出 处】
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佳木斯大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2007年4期
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