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随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也随之发展.精密、超精密加工技术由于具有精度高等、加工材料范围广、可加工三维复杂结构等特点,近年来在微机械零件制造中得到了应用.本文对此进行了介绍.
精密超精密加工技术在微机械制造中的应用
【摘 要】
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随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也随之发展.精密、超精密加工技术由于具有精度
【机 构】
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超精密加工技术国防科技重点实验室,北京,100076
【出 处】
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中国航空学会工艺专业分会辅机学组2005年学术会议
【发表日期】
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2005年5期
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