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期刊论文
电子束刻蚀中邻近效应的修正
电子束刻蚀中邻近效应的修正
来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangf123456
【摘 要】
:
以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的
【作 者】
:
肖沛
【机 构】
:
江苏科技大学张家港校区基础教学部
【出 处】
:
佳木斯大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2013年6期
【关键词】
:
邻近效应
邻近函数
电子束刻蚀
高斯函数
proximity effect proximity function electron beam lithograp
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以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的修正结果相比,经过拓展后的邻近函数有着更好的修正效果.
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