电子束刻蚀中邻近效应的修正

来源 :佳木斯大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangf123456
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以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的修正结果相比,经过拓展后的邻近函数有着更好的修正效果.
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