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本文以化学机械抛光技术的含义、特点为切入点，就其在MEMS 系统中的具体应用方法，进行细致的探讨研究，期望为普及、推广化学机械抛光技术、提升MEMS 超精密加工的精度与质量，提供有益的参考。
化学机械抛光在MEMS 中的应用
【摘 要】
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本文以化学机械抛光技术的含义、特点为切入点，就其在MEMS 系统中的具体应用方法，进行细致的探讨研究，期望为普及、推广化学机械抛光技术、提升MEMS 超精密加工的精度与质量，提供
【机 构】
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沈阳理工大学
【出 处】
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南方农机
【发表日期】
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2016年10期
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