【摘 要】
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基于国际半导体技术发展路线(ITRS)的预测,如果半导体工业不断提升其产品的复杂度和密集度,那么到2022年,量测技术将面临史无前例的困难和挑战。对于量测技术而言,光刻工艺始
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基于国际半导体技术发展路线(ITRS)的预测,如果半导体工业不断提升其产品的复杂度和密集度,那么到2022年,量测技术将面临史无前例的困难和挑战。对于量测技术而言,光刻工艺始终是最大的一道难关,并且问题也主要出现在先进成像技术领域;目前,
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