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【摘 要】
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用沟道离子注入法生成的稀土硅化物产物经背散射沟道分析、电镜分析和Ｘ射线衍射测 试表明：它具有很好的结晶品质（ＥｒＳｉ１．７的Ｘｍｉｎ值可低到１．５％）和很高的相稳定性。
The results of backscatter ch
【机 构】
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北京大学!北京100871,北京大学!北京100871,北京大学!北京100871,北京大学!北京100871
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1999年02期
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