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研究了用化学相沉积方法在钢基体表面形成TiN薄膜的组织和性能结果表明,由于钢中的铁和碳向膜层中扩散,膜层的组织中存在有少量的α-Fe,而且薄膜的硬度与钢的含碳量有不可忽视的关系.
化学气相沉积TiN薄膜组织性能研究
【摘 要】
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研究了用化学相沉积方法在钢基体表面形成TiN薄膜的组织和性能结果表明,由于钢中的铁和碳向膜层中扩散,膜层的组织中存在有少量的α-Fe,而且薄膜的硬度与钢的含碳量有不可忽
【机 构】
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安徽工业大学
【出 处】
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热处理
【发表日期】
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2003年2期
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