【摘 要】
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274等温线、恒定电流与SWEAT晶圆级EM测试方法的比较(Comparison of isothermal,Con—stant Current and SWEAT Wafer level EM TestingMethods 1—2001 International Reli
【机 构】
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274等温线、恒定电流与SWEAT晶圆级EM测试方法的比较(Comparison of isothermal,Con—stant Current and SWEAT Wafer level EM TestingMethods 1—2001 International Reliability PhysicsSymposium pp.172—183. 提供了3种圆(避免W柱)。ISOT的平均初始电流值用作CI试验的输入。同样,ISOT的平均火效时间则用作SWEAT试验的目标τ 50。激活能(△H)和Black常数(A)则根据ISOT结果用封装级
Comparison of isothermal, SWEAT Wafer level EM Testing Methods 1-2001 International Reliability Physics Symposium pp. 172-183. Three circles are provided (avoidance W column.) The average initial current value of ISOT is used as the input for the CI test. Similarly, the average ISOT fire time is used as the target for the SWEAT test, τ 50. The activation energy (ΔH) and the Black constant (A) The result is in package level
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