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详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,改善了计算的收敛性并提高收敛速度.给出了计算程序流程图,重点分析了各遗传算子的设计.
遗传算法在椭圆偏振测量中的应用
【摘 要】
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详细介绍了椭圆偏振法测量的基本原理和椭偏函数方程的建立,将遗传算法引入到椭偏法测试薄膜的折射率和厚度的计算中,改善了计算的收敛性并提高收敛速度.给出了计算程序流程
【机 构】
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华中理工大学,电子科学与技术系,武汉,430074
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2004年期
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