【摘 要】
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利用从国内首台金属蒸汽真空弧离子源（ＭＥＶＶＡ）引出的脉冲钛离子对Ｈ１３钢进行了离子注入改性研究，测量了注入样品背散射谱（ＲＢＳ），根据ＲＢＳ，给出了Ｈ１３钢表面的Ｔｉ浓度分布。最后讨论了这样测量和计算的适用范围
【机 构】
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南通纺织工学院，启秀中学，北京师范大学
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利用从国内首台金属蒸汽真空弧离子源（ＭＥＶＶＡ）引出的脉冲钛离子对Ｈ１３钢进行了离子注入改性研究，测量了注入样品背散射谱（ＲＢＳ），根据ＲＢＳ，给出了Ｈ１３钢表面的Ｔｉ浓度分布。最后讨论了这样测量和计算的适用范围。
H13 steel was modified by ion implantation using pulsed titanium ions derived from China’s first metal vapor vacuum arc ion source (MEVVA). The backscattered spectra (RBS) of the implanted samples were measured. According to RBS, the surface properties of H13 steel Ti concentration distribution. Finally, the scope of application of such measurements and calculations is discussed.
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