【摘 要】
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制作了N电极为Ti/Al/Ni/Au结构的垂直LED芯片。由于电极结构中含有容易迁移的金属Al,在高电流密度下存在可靠性风险。通过改变Al层的厚度,研究了其对芯片可靠性的影响。结果
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制作了N电极为Ti/Al/Ni/Au结构的垂直LED芯片。由于电极结构中含有容易迁移的金属Al,在高电流密度下存在可靠性风险。通过改变Al层的厚度,研究了其对芯片可靠性的影响。结果表明,当Al的厚度增加时,芯片的可靠性将会改善。当厚度达到2000A时,高温高湿老化条件下,没有明显的光衰出现。改善机制可能是Al层变厚使得Al原子受到更强的Al-Al键束缚,迁移不容易发生。
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