超精密低速油润滑滑动轴承主轴系

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本文论述了超精密低速油润滑滑动轴承主轴系的结构及工作原理,进行了理论分析,提出了提高主轴回转精度的具体方法。本主轴系在低速旋转时,主轴最大径向误差不超过0.027微米(为与最小二乘圆偏差的峰峰值),主轴随机误差σ为0.0042微米,它具有承载能力大和长期使用勿需注油的特点。 This paper discusses the structure and working principle of the ultra-precision low-speed oil-lubricated sliding bearing spindle system, carries on the theoretical analysis and puts forward the specific method to improve the spindle’s rotating accuracy. The main shaft at low speed rotation, the maximum spindle radial error of not more than 0.027 microns (with the least squares circle deviation of the peak), the random error σ spindle is 0.0042 microns, it has a large carrying capacity and long-term use without oiling .
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