【摘 要】
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研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不
【机 构】
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西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 陕西西安 710032
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研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法。对干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,尤其研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到表征其表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果。
The method of measuring the new first-order block using phase-shifting interferometry is studied. The interference image is sampled by multiple images, and the phase measurement method is used to calculate the wavefront profile of the measuring surface of the measuring block and the surface of the auxiliary flat surface to be researched by the phase shifting method. In particular, the wavefront restoration with step discontinuity in the interferogram of the measuring block The principle and technique of calculation are used to get the difference of the discrete waves on the surface and the measurement results of the variation of the length and length of the working face are given.
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