【摘 要】
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同步辐射光束线的光学元件的碳污染问题。它导致光学系统的光通量下降,尤其是在碳吸收边情况更加严重。因此在光束线运行一定的时间后,必须对光学元件的碳污染进行清洗以便保
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室,新加坡国立大学同步辐射光源,新加坡国立大学物理系
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同步辐射光束线的光学元件的碳污染问题。它导致光学系统的光通量下降,尤其是在碳吸收边情况更加严重。因此在光束线运行一定的时间后,必须对光学元件的碳污染进行清洗以便保证其正常使用。为此我们开发了一套射频等离子体原位光学元件清洗系统,以干燥的氧气和氩气为介质。在产生的等离子中存在大量的臭氧,与光学元件表面的碳反应,变成CO和CO2气体,从而达到清洗的目的。实验证明等离子体清洗不但可有效清除碳污染,而且有利于光束线真空系统的超高真空环境的恢复,为光束线的维护提供了方便。
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