【摘 要】
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本文根据光学三角原理，介绍了用光纤束作传感器，对μｍ以下的微小位移进行检测的方法及系统的组成。并从该测量原理出发，还可以对圆度、微小尺寸偏差、表面轮廓及微小振幅的振动、
【机 构】
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华中工学院,华中工学院,华中工学院
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本文根据光学三角原理，介绍了用光纤束作传感器，对μｍ以下的微小位移进行检测的方法及系统的组成。并从该测量原理出发，还可以对圆度、微小尺寸偏差、表面轮廓及微小振幅的振动、以及硅片、胶片的厚度偏差进行检测。
In this paper, based on the principle of optical triangulation, the method and system for detecting the small displacement below μm are introduced. And from the principle of measurement, but also on the roundness, small size deviation, the surface profile and small amplitude vibration, as well as silicon, film thickness deviation detection.
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