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本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.
激光干涉仪测长精度校准方法的研究
【摘 要】
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本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合
【机 构】
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福建省漳平市技术监督局,中国计量科学研究院
【出 处】
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现代测量与实验室管理
【发表日期】
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2005年1期
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