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主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时，由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响。
压陷误差对厚度校准片校准结果的影响
【摘 要】
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主要介绍了在利用数显式电感测微仪对覆层测厚仪厚度校准片进行校准时，由测量力引起的压陷误差对校准结果的影响。
【机 构】
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中国一航北京长城计量测试技术研究所,武汉大学工学院
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2008年3期
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