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【摘 要】
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电子枪是电子束蒸发设备的核心部件,其结构复杂,一旦出现故障,对热障涂层的制备和设备的使用都有影响。出现的故障中,以高压放电现象最为严重。结合电子束蒸发设备以及电子枪
【机 构】
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西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所,
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2017年05期
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