ACRT-B法晶体生长过程的传质模型

来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hui8554974
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基于对ACRT-B法晶体生长时对流及传质特性的认识,提出了ACRT-B法晶体生长过程的一维传质模型得到了包括初始过渡区、稳态区及终端过渡区轴向成分分布的解析解定量计算结果表明,与传统Bridgman法相比,在生长参数不变的条件下,运用ACRT会失去部分轴向成分均匀区在保证ACRT提高结晶度及径向成分均匀性的前提下,适当提高生长速度,选择尽可能小的坩埚最大转速面Δωmax或选用长径比更大的坩埚,是改善ACRT-B晶锭轴向成分均匀性的有效而可行的途径 Based on the recognition of the convection and mass transfer characteristics during ACRT-B crystal growth, a one-dimensional mass transfer model of ACRT-B crystal growth process was proposed. The axial component distribution including initial transition region, steady region and terminal transition region The results of analytical solution calculation show that compared with the traditional Bridgman method, the ACRT will lose part of the axial component even under the condition of constant growth parameters. Under the premise of ensuring the ACRT to improve the crystallinity and radial component uniformity, Increasing the growth rate, choosing the crucible maximum speed surface Δωmax as small as possible, or choosing a crucible with larger aspect ratio, are effective and feasible ways to improve the axial component uniformity of the ACRT-B ingot
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