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详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计.通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2μg,测量范围为0.2μg～1g.
双光纤Fabry—Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计
【摘 要】
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详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计.通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2μg,测量范
【机 构】
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北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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2005年6期
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