【摘 要】
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从原位掺杂多晶硅和外延硅层到单晶硅衬底的特殊低温掺杂剂扩散＝Ａｎｏｍａｌｏｕｓｌｏｗ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｏｐａｎｔｄｉｆｆｕｓｉｏｎｆｒｏｍｉｎｓｉｔｕｄｏｐｅｄｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｉｎｅａｎｄｅｐｉｔａｘｉａｌＳｉｌａｙｅｒｓｉｎｔｏｔｈｅ...
Diffusion of special low temperature dopants from in-situ doped polysilicon and epitaxial silicon
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从原位掺杂多晶硅和外延硅层到单晶硅衬底的特殊低温掺杂剂扩散＝Ａｎｏｍａｌｏｕｓｌｏｗ－ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｏｐａｎｔｄｉｆｆｕｓｉｏｎｆｒｏｍｉｎｓｉｔｕｄｏｐｅｄｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｉｎｅａｎｄｅｐｉｔａｘｉａｌＳｉｌａｙｅｒｓｉｎｔｏｔｈｅ...
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