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本文主要阐述真空机械泵的运行原理,其中着重说明了泵发生安全事故的主要原因,并提出了如何改善真空系统的建议.
油密封真空泵的安全使用
【摘 要】
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本文主要阐述真空机械泵的运行原理,其中着重说明了泵发生安全事故的主要原因,并提出了如何改善真空系统的建议.
【机 构】
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新中亚微电子有限公司
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2003年2期
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