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来源 :中国科学E辑:技术科学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用真空磁过滤弧沉积的方法 ,制备了高sp3 键含量 ( >90 % )的无氢非晶金刚石薄膜 .研究表明 ,金刚石薄膜具有优异的电子场发射性能 .在电场强度为5V/μm时 ,可产生 5 .4μA
【作 者】
:
茅东升
赵俊
李炜
王曦
柳襄怀
诸玉坤
李琼
徐静芳
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室!上海200050,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室!上海200050,中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室!上海200050,中国科学
【出 处】
:
中国科学E辑:技术科学
【发表日期】
:
1999年01期
【关键词】
:
金刚石薄膜
电子场发射
sp~3
表面功函数
sp3键
发射电流
场发射性能
电子亲和势
薄膜性能
电场强度
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