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以Bi(NO3)3.5H2O,Fe(NO3)3.9H2O为原料,柠檬酸为螯合剂,用液相自组装法,在ITO玻璃基片上制备了纯相BiFeO3薄膜。研究了前驱液中Fe3+/Bi 3+摩尔比对BiFeO3薄膜的影响。利用XRD,EDS,XPS,FE-SEM和FT-IR等测试手段对BiFeO3薄膜进行了表征。结果表明,由于柠檬酸对Fe3+的掩蔽作用,使得Bi 3+络合物比Fe3+络合物沉积速率大,导致薄膜出现Bi2O3和Bi2O2.33相,随着Fe3+/Bi 3+摩尔比增加到2.6时,制备了纯相BiFeO3薄膜;薄