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采用sol—gel法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了sn掺杂Ba（Zr0.2Ti0.8）O3（BZT）薄膜。结果表明，掺锡的BZT薄膜为钙钛矿结构，当Sn掺量超过4％时，出现了第二相BaO；SEM观察发现掺锡BZT薄膜表面光滑平整，孔洞和裂纹较少；当Sn掺量达到8％时，BZT薄膜的介电常数达到最大值，而介电损耗最小；BZT薄膜的剩余极化强度为2．29μC／cm2，矫顽场强为10．36kV／cm。