采用数字校正、PWM反馈技术的硅微加速度计

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：walkonair

【摘要】

：

本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案．介绍了该方案的基本工作原理，建立了相应的闭环系统数学模型，并在s域设计了系统校正环节．

【作者】

：

安康苏岩

【机构】

：

东南大学仪器科学与工程系,南京理工大学机械工程学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05B期

【关键词】

：

硅微加速度计数字控制 PWM 静电力反馈 micro-accelerometer digital control PWM electrostatic se

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本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案．介绍了该方案的基本工作原理，建立了相应的闭环系统数学模型，并在s域设计了系统校正环节．文章还提出了数字校正环节的设计方法，并分析了其对系统动态特性的影响．该方案可以实现硅微加速度计的数字闭环控制，并可以实现加速度计的PWM数字信号输出．

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