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在实际的电子元器件可靠性评估中，通常会遇到小样本的限制，无法满足传统的基于大样本的评估方法的假设．有鉴于此，文中提出了基于支持向量机的小子样元器件可靠性评估方法．该方法通过对元器件失效时间的训练，选择最优的核函数及核参数建立支持向量机模型，利用建立的模型得到拟合直线，从而进行可靠性参数评估．将该方法应用于栅氧化层击穿寿命分布的评估中，可获得比基于大样本的最小二乘评估方法更高的评估精度．