诺发系统有限公司（NOVELLUS）在VECTOR EXPRESS平台上推出可灰化硬掩模工艺技术

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhuifeng188

【摘要】

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诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR Express^TM等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台上实现的可灰化硬掩模（AHM？）工艺技术，目前这项技术正在申请专利。VECTOR Expr

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2007年7期

【关键词】

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VECTOR 技术节点 EXPRESS 膜工艺平台等离子增强化学气相沉积系统掩模

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诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR Express^TM等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台上实现的可灰化硬掩模（AHM？）工艺技术，目前这项技术正在申请专利。VECTOR Express平台上的AHM工艺可应对高阶技术节点应用的挑战，相对于传统的非晶碳膜工艺实现了巨大的技术突破，可支持193nm高深宽比图形的蚀刻要求，

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