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测定了椰壳活性炭对多晶硅回收H2中的HCl、Si HCl3和Si Cl4的吸附等温曲线,并用Freundlich方程进行了拟合。在此基础上运用ASPEN Adsorption软件对各组份的穿透曲线进行模拟和分析。根据HCl穿透曲线的形态和穿透点位置,可以确定活性炭吸附塔的装填量和吸附时间,模拟结果与实际运行情况较为吻合。