非导电材料的荷电衬度的探讨

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vitor330

【摘要】

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在以电子束为基础的显微分析技术中,如SEM,EPMA及AES等,非导电样品在电子束辐照下产生的荷电效应会给观察和分析带来很大的困难,如造成图像畸变,严重时甚至无法成像,并给元素

【作者】

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【机构】

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北京工业大学固体微结构与性能研究所

【出处】

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电子显微学报

【发表日期】

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2005年4期

【关键词】

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【基金项目】

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国家自然科学基金

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在以电子束为基础的显微分析技术中,如SEM,EPMA及AES等,非导电样品在电子束辐照下产生的荷电效应会给观察和分析带来很大的困难,如造成图像畸变,严重时甚至无法成像,并给元素分析带来误差等.

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