【摘 要】
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利用自制的抛光液和改造的抛光机对NiP基板进行电化学机械抛光,研究了抛光电压、抛光台转速、抛光压力和抛光液流速对材料去除速率的影响,对电化学机械抛光的机理做了初步的
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利用自制的抛光液和改造的抛光机对NiP基板进行电化学机械抛光,研究了抛光电压、抛光台转速、抛光压力和抛光液流速对材料去除速率的影响,对电化学机械抛光的机理做了初步的分析。研究结果表明,NiP基板可以用低压力(3.5kPa)抛光,材料的去除速率可以通过调整抛光电压,抛光台转速和抛光液流速进行控制。
The effects of polishing voltage, rotating speed of polishing table, polishing pressure and flow rate of polishing solution on the material removal rate were studied by using the self-made polishing solution and modified polishing machine. The mechanism of electrochemical mechanical polishing Preliminary analysis. The results show that the NiP substrate can be polished at low pressure (3.5 kPa) and the material removal rate can be controlled by adjusting the polishing voltage, polishing station speed and polishing solution flow rate.
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